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國產(chǎn)首臺!凌光紅外激光誘導(dǎo)電阻變化顯微鏡發(fā)布

12月8日消息,國產(chǎn)據(jù)“凌光紅外”公眾號發(fā)文,首臺凌光紅外正式推出商用激光誘導(dǎo)電阻變化檢測設(shè)備(LaserSight系列),凌光標(biāo)志著國產(chǎn)電性失效分析設(shè)備在Thermal/EMMI/OBIRCH(TIVA)三大主流技術(shù)方向上實現(xiàn)全線貫通。紅外

OBIRCH(激光誘導(dǎo)電阻變化技術(shù)),激光鏡與熱發(fā)射、誘導(dǎo)光發(fā)射并列為電性失效分析領(lǐng)域的電阻三大標(biāo)準(zhǔn)定位方法。

該技術(shù)通過激光束掃描檢測因電阻變化反映的變化布電路內(nèi)部缺陷,常用于定位金屬互聯(lián)故障、顯微短路等電性失效問題。國產(chǎn)

自1997年日本公司推出首臺商用設(shè)備以來,首臺OBIRCH技術(shù)及相關(guān)設(shè)備長期被少數(shù)國外廠商壟斷。凌光其中,紅外日本H公司與美國F公司占據(jù)超過80%的激光鏡市場份額,使該設(shè)備成為國內(nèi)半導(dǎo)體分析領(lǐng)域典型的誘導(dǎo)“卡脖子”環(huán)節(jié)。

此次凌光紅外發(fā)布的LaserSight系列,首次實現(xiàn)了國產(chǎn)激光誘導(dǎo)電阻變化定位設(shè)備的自主供應(yīng)。

截至2025年12月,該系列已完成多臺交付并穩(wěn)定運(yùn)行,性能對標(biāo)國際旗艦產(chǎn)品。

LaserSight系列適用于金屬互聯(lián)缺陷、金屬/半導(dǎo)體短路等典型分析場景,可廣泛應(yīng)用于集成電路、功率器件及光電器件等領(lǐng)域的失效定位,為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供了又一關(guān)鍵環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化檢測支持。

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